氣相沉積爐設備室是立式結構，氣相沉積爐爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降。雙層爐殼結構，內層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳氈保溫層保溫效果好。控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。主要電器元件采用知名品牌，性能穩定、可靠。配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。
氣相沉積爐反應室的壓力、氣體的流動速率、晶片的溫度等反應中間起的作用都是沉積參數的變化范圍，所以考慮到沉積薄膜中的變數、以及沉積速率決定著反應室的產出量，反應生成的膜不僅會沉積在晶片上，也會沉積在反應室的其他部件上，所以對反應室進行徹底清洗的程度也是重要。
